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高性能微機電系統紅外光源作為非色散紅外氣體傳感器的核心部件，具有重要應用價值?，F有微機電系統紅外光源存在輻射區溫度均勻性差、功耗高等問題。近日，中國科學院微電子研究所研究團隊提出了基于8英寸晶圓級工藝的單片集成紅外光源結構，通過引入Al納米顆粒修飾的納米森林作為高發射率輻射層，提升了器件在目標波長的紅外發射能力。團隊結合微加熱器幾何形狀的迭代優化設計，解決了傳統光源溫度分布不均問題，在降低功耗密度的同時提高了運行效率 。該紅外光源已應用于集成化非色散紅外檢測系統，在溫室環境下實現了對植物光合與呼吸作用致氣體濃度波動的實時監測，為智慧農業提供了低功耗的新型硬件支撐。相關研究成果在線發表在《?能源與環境材料》（Energy & Environmental Materials）上。研究工作得到國家自然科學基金、國家重點研發計劃、中國科學院相關項目等的支持?；?英寸晶圓級工藝的紅外光源及其納米森林輻射層材料